据南方财富网概念库数据显示，微机电系统概念股有：
航天电器002025：贵州航天电器股份有限公司是一家主要从事电器、电机、电源、仪器、仪表、遥测遥控设备、伺服控制系统等产品的研制、生产和销售的电子元器件制造公司公司的主要产品包括高端继电器、连接器和微特电机，广泛应用于航天、航空、电子、船舶、兵器、交通、通讯等领域公司是中国航天科工集团骨干企业之一。
在近5个交易日中，航天电器有3天上涨，期间整体上涨0.07%。和5个交易日前相比，航天电器的市值上涨了1366.28万元，上涨了0.07%。
深南电路002916：公司制造的硅麦克风微机电系统封装基板大量应用于苹果和三星等智能手机中，全球市场占有率超过30%。
回顾近5个交易日，深南电路有2天上涨。期间整体上涨2.95%，最高价为233.5元，最低价为199.8元，总成交量5814.13万手。
至纯科技603690：公司主要为泛半导体产业（集成电路、平板显示、光伏、LED等）、光纤、生物医药及食品饮料等行业需要对生产的工艺流程进行制程污染控制的先进制造业企业提供高纯工艺系统解决方案，业务包括高纯工艺系统与高纯工艺设备的设计、加工制造、安装以及配套服务。
近5日至纯科技股价上涨6.09%，总市值上涨了7.28亿，当前市值为119.48亿元。2025年股价上涨19.52%。
晶方科技603005：公司主营业务为集成电路的封装测试业务，公司是中国大陆首家、全球第二大能为影像传感芯片提供WLCSP量产服务的专业封测服务商。公司目前封装产品主要有医疗电子器件、微机电系统、射频识别芯片等，该些产品被广泛应用在消费电子、医学电子、电子标签身份识别、安防设备等诸多领域。
近5个交易日，晶方科技期间整体上涨3%，最高价为28.07元，最低价为26.45元，总市值上涨了5.48亿。
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