据南方财富网概念库数据显示，相关微机电系统概念股有：
深南电路002916："目前，公司已成为全球领先的无线基站射频功放PCB供应商、亚太地区主要的航空航天用PCB供应商、国内领先的处理器芯片封装基板供应商；公司制造的硅麦克风微机电系统封装基板大量应用于苹果和三星等智能手机中，全球市场占有率超过30%。
近30日深南电路股价下跌8.34%，最高价为235元，2025年股价上涨41.25%。
北方华创002371：公司具有60多年的产品研制历史，目前主要产品涵盖半导体装备、真空装备、新能源锂电装备等。所提供的半导体设备及部件类产品包括刻蚀机、PVD、CVD、氧化炉、扩散炉、清洗机及MFC等7大类，面向集成电路、先进封装、半导体照明、微机电系统、功率半导体、化合物半导体、新能源光伏、平板显示等8个产品领域，涵盖了半导体生产前处理工艺制程中的大部分关键工艺装备。
近30日北方华创股价上涨8.33%，最高价为468元，2025年股价上涨12.79%。
至纯科技603690：致力于为高端先进制造业企业提供高纯工艺系统的解决方案。系统解决方案涵盖了提供整个系统的设计、选型、制造、安装、测试、调试和系统托管服务。
回顾近30个交易日，至纯科技股价下跌6.97%，最高价为31.17元，当前市值为113.97亿元。
晶方科技603005：公司目前封装产品主要有影像传感芯片、环境光感应芯片、医疗电子器件、微机电系统、射频识别芯片等，该些产品被广泛应用在消费电子、医学电子、电子标签身份识别、安防设备等诸多领域。
回顾近30个交易日，晶方科技股价下跌5.81%，总市值上涨了1.37亿，当前市值为181.11亿元。2025年股价下跌-3.29%。
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