据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻机概念股龙头有：
1、东方嘉盛002889：光刻机龙头。
2023年东方嘉盛实现营业收入27亿元，同比增长-4.61%；归属于上市公司股东的净利润1.59亿元，同比增长2.76%；归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润1.58亿元，同比增长0.46%。
2023年9月8日公司在互动平台表示，公司上半年向深圳海关申请设立寄售维修保税仓库已获批通过。七月初公司已经中标，将与国际头部芯片光刻机厂商合作，共同在深圳建设寄售维修保税仓库，为华南片区集成电路制造企业提供全天候快速响应的光刻机寄售维修服务。
2、上海电气601727：光刻机龙头。
2023年公司实现营业收入1147.97亿元，同比增长-2.4%；归属于上市公司股东的净利润2.85亿元，同比增长108%；归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润-12.24亿元，同比增长74.02%。
3、京华激光603607：光刻机龙头。
京华激光2023年实现营业收入7.59亿元，同比增长-13.71%；归属于上市公司股东的净利润9335.76万元，同比增长-25.72%；归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润7944.32万元，同比增长-24.4%。
4、福晶科技002222：光刻机龙头。
2023年实现营业收入7.82亿元，同比增长1.73%；归属于上市公司股东的净利润2.09亿元，同比增长-7.65%；归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润1.94亿元，同比增长-9.85%。
5、奥普光电002338：光刻机龙头。
奥普光电2023年实现营业收入7.73亿元，同比增长23.34%；归属于上市公司股东的净利润8663.52万元，同比增长5.91%；归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润6646.46万元，同比增长17186.29%。
6、容大感光300576：光刻机龙头。
2023年实现营业收入7.99亿元，同比增长8.7%；归属于上市公司股东的净利润8548.57万元，同比增长62.25%；归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润7915.11万元，同比增长82.1%。
7、飞凯材料300398：光刻机龙头。
2023年飞凯材料实现营业收入27.29亿元，同比增长-5.52%；归属于上市公司股东的净利润1.12亿元，同比增长-74.15%；归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润5002.47万元，同比增长-88.52%。
8、南大光电300346：光刻机龙头。
公司2023年实现营业收入17.03亿元，同比增长7.72%；归属于上市公司股东的净利润2.11亿元，同比增长13.26%；归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润1.26亿元，同比增长0.23%。
光刻机概念股其他的还有：
强力新材：近7个交易日，强力新材下跌16.32%，最高价为12.47元，总市值下跌了9.54亿元，下跌了16.31%。
泰晶科技：泰晶科技近7个交易日，期间整体下跌15.48%，最高价为15.33元，最低价为16.36元，总成交量8660.93万手。2025年来下跌-6.85%。
怡达股份：在近7个交易日中，怡达股份有5天下跌，期间整体下跌11.64%，最高价为13.04元，最低价为12.51元。和7个交易日前相比，怡达股份的市值下跌了2.19亿元。
北方华创：近7个交易日，北方华创下跌8.05%，最高价为401.84元，总市值下跌了160.9亿元，2025年来下跌-4.24%。
永新光学：近7日股价上涨6.94%，2025年股价上涨3.29%。
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