据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻机概念龙头上市公司有：
芯源微688037：龙头股，
回顾近3个交易日，芯源微有3天下跌，期间整体下跌2.84%，最高价为93.8元，最低价为96.68元，总市值下跌了5.29亿元，下跌了2.84%。
国内唯一覆盖前道涂胶显影与后道封装光刻设备的企业，技术对标日本TEL。行业地位：2024年国产光刻机配套设备市占率超60%，客户涵盖中芯、华虹等。增长潜力：先进封装设备需求激增，订单排期已至2025年。
大族激光002008：龙头股，
在近3个交易日中，大族激光有2天上涨，期间整体上涨2.47%，最高价为23.96元，最低价为23.1元。和3个交易日前相比，大族激光的市值上涨了6.21亿元。
光刻机概念股其他的还有：
强力新材300429：近7个交易日，强力新材下跌1.26%，最高价为11.19元，总市值下跌了7508.21万元，2025年来下跌-8.31%。
泰晶科技603738：回顾近7个交易日，泰晶科技有4天上涨。期间整体上涨1.51%，最高价为13.65元，最低价为14.56元，总成交量6423.35万手。
怡达股份300721：近7个交易日，怡达股份上涨18.35%，最高价为13.96元，总市值上涨了5.62亿元，上涨了18.35%。
北方华创002371：北方华创近7个交易日，期间整体上涨0.44%，最高价为450元，最低价为469.33元，总成交量3670.17万手。2025年来上涨13.79%。
永新光学603297：回顾近7个交易日，永新光学有4天上涨。期间整体上涨7.34%，最高价为78.38元，最低价为87.51元，总成交量991.27万手。
同益股份300538：同益股份近7个交易日，期间整体上涨1.31%，最高价为13.46元，最低价为14.28元，总成交量2888.09万手。2025年来下跌-11.25%。
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