高纯工艺设备龙头上市公司有哪些？据南方财富网概念查询工具数据显示，高纯工艺设备龙头上市公司有：
至纯科技：高纯工艺设备龙头。
至纯科技12月26日消息，今日该股开盘报价31.08元，收盘于30.500元。5日内股价上涨4.56%，成交额6.89亿元。
公司致力打造高端湿法设备制造开发平台。公司产品腔体、设备平台设计与工艺技术都和国际湿法设备厂商路线一致，采用先进二流体产生的纳米级水颗粒技术，能高效去除微粒子的同时，还可以避免兆声波的高成本以及对晶圆基底的损伤。公司的湿法设备历经IP自主、供应链自主研发，在国内湿法设备制造基地制造，正有序开展供应链的本地化。
高纯工艺设备概念股其他的还有：
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