据南方财富网概念查询工具数据显示，半导体装备上市龙头公司有：
中微公司：半导体装备龙头股
回顾近7个交易日，中微公司有1天上涨。期间整体上涨0.08%，最高价为266.66元，最低价为280.3元，总成交量2875.44万手。
万业企业：半导体装备龙头股
先导基电近7个交易日，期间整体上涨7.94%，最高价为15.84元，最低价为17.59元，总成交量1.58亿手。2025年来上涨15.88%。
集成电路业务专注离子注入机，出资4亿认购上海半导体装备材料产业投资基金，该基金先后投资飞凯材料、精测电子、长川科技、华卓精科和上海御渡等，并购紫光控股等集成电路装备材料核心项目。
芯源微：半导体装备龙头股
近7个交易日，芯源微上涨12.44%，最高价为124元，总市值上涨了37.42亿元，2025年来上涨43.93%。
长电科技：半导体装备龙头股
近7个交易日，长电科技上涨4.71%，最高价为35.1元，总市值上涨了31.31亿元，上涨了4.71%。
晶盛机电：半导体装备龙头股
晶盛机电近7个交易日，期间整体上涨13.58%，最高价为33.26元，最低价为40.45元，总成交量1.39亿手。2025年来上涨17.83%。
机器人：近5个交易日股价上涨5.88%，最高价为17.96元，总市值上涨了16.44亿。
精测电子：近5个交易日股价上涨9.21%，最高价为86.98元，总市值上涨了21.71亿。
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