据南方财富网概念库数据显示，相关极紫外光刻题材的上市公司有：
汉钟精机：12月24日消息，汉钟精机主力资金净流入1631.02万元，超大单资金净流入3263.99万元，散户资金净流出2007.16万元。
2025年第三季度季报显示，汉钟精机公司总营收7.77亿元，同比增长-23.99%，净利率17.33%，毛利率34.68%。
2025-03-06互动易：公司真空泵可配套应用于半导体产业中拉晶、扩散、沉积、刻蚀、光刻、薄膜等制程。目前半导体真空泵营收还比较小，对公司整体业绩影响不大。
大恒科技：12月24日该股主力净流出1132.86万元，超大单净流出578.87万元，大单净流出553.99万元，中单净流入82.28万元，散户净流入1050.58万元。
2025年第三季度季报显示，公司营收同比增长26.86%至4.53亿元，毛利率37.4%，净利率21.25%。
2018年大恒科技光电所承担的科技部重大仪器专项“基于飞秒激光的太赫兹时域光谱仪”、“软X射线/极紫外无谐波光栅单色仪”项目完成预验收工作，已报正式验收流程。
蓝英装备：12月24日该股主力资金净流出1004.67万元，超大单资金净流出98.57万元，大单资金净流出906.1万元，中单资金净流出36.16万元，散户资金净流入1040.83万元。
2025年第三季度季报显示，蓝英装备公司总营收2.77亿元，同比增长-6.07%，净利率-5.39%，毛利率24.05%。
为高端芯片制造业提供精密清洗设备，客户涵盖光刻机核心光学系统的制造企业，以合资或参股形式紧密合作，确保光刻技术的精度与稳定性。
广信材料：12月24日消息，广信材料资金净流出3392.64万元，超大单资金净流出1655.19万元，换手率4.8%，成交金额1.58亿元。
2025年第三季度季报显示，广信材料公司营收同比增长-8.78%至1.15亿元，毛利率34.44%，净利率-4.49%。
广信材料在互动平台表示，公司光刻胶技术开发项目在台湾实验室已经实现供货，目前正在筹备大陆建厂事宜，公司报批年产1920吨光刻胶项目目前已通过环评批复。
奥普光电：12月24日消息，奥普光电12月24日主力净流出1025.31万元，超大单净流出831.62万元，大单净流出193.69万元，散户净流入2571.26万元。
2025年第三季度显示，公司总营收1.5亿元，同比增长-5.3%，净利率9.68%，毛利率36.28%。
公司控股股东长春光机所拥有极紫外（EUV）光刻关键技术研究。
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