据南方财富网概念库数据显示，极紫外光刻概念股票：
1、英诺激光：从近五年ROE来看，近五年ROE均值为5.05%，过去五年ROE最低为2023年的-0.46%，最高为2020年的11.63%。
公司激光器未用于光刻机。公司生产的五轴联动设备不属于工业母机。公司产品已应用于光伏领域。
回顾近30个交易日，英诺激光股价下跌5.64%，总市值上涨了304.3万，当前市值为58亿元。2025年股价上涨32.08%。
2、汉钟精机：从近三年营业总收入来看，近三年营业总收入均值为35.97亿元，过去三年营业总收入最低为2022年的32.66亿元，最高为2023年的38.52亿元。
20年7月，公司在互动平台表示：公司真空泵可用于极紫外光刻，且一直在积极推进中在该行业的使用。
近30日汉钟精机股价上涨1.89%，最高价为25.48元，2025年股价上涨23.97%。
3、大恒科技：从近五年扣非净利润来看，近五年扣非净利润均值为1811.3万元，过去五年扣非净利润最低为2024年的-2059.09万元，最高为2021年的4768.23万元。
公司光机电一体化产品包括，超快激光器及太赫兹相关应用系统产品，用于激光卫星测距和工业精密加工的皮秒激光器，用于太赫兹光谱仪光源、光栅刻蚀的飞秒激光器等，产品被广泛应用于激光加工设备、激光医疗、探测传感、生化分析、环境监测、视频光学、光纤通讯、光损伤防护、教育科研等领域；公司所承担的科技部重大仪器专项“基于飞秒激光的太赫兹时域光谱仪”、“软X射线/极紫外无谐波光栅单色仪”项目完成预验收工作，已报正式验收。
近30日股价下跌11.28%，2025年股价上涨42.34%。
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