A股国产光刻机正宗龙头股：有三家

　　据南方财富网概念查询工具数据显示，国产光刻机龙头股有：

　　冠石科技（605588）：国产光刻机龙头股，

　　根据公司规划2025年45nm掩膜板量产，2028年28nm掩膜版量产。

　　苏大维格（300331）：国产光刻机龙头股，

　　国内领先的微纳光学制造商，向SMEE提供定位光栅部件，光栅尺周期精度小于1nm，纳米压印技术国内领先。

　　海立股份（600619）：国产光刻机龙头股，

　　为上海微电子的相关设备提供冷却配套系统，已实现供货。

　　国产光刻机概念股其他的还有：

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